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比較
TSP 常溫屏蔽罩和低溫?fù)醢逶O(shè)計(jì)用于與 TSP 泵芯結(jié)合使用。兩種產(chǎn)品都為鈦濺射提供了較大的表面積。如果在超高真空/極高真空下使用，低溫?fù)醢澹ǖ蜏卣郑┛稍谒?液氮冷卻下使用。如果不能或不希望進(jìn)行冷卻，常溫屏蔽罩可以提供比未冷卻低溫板更高的抽速。|使用常溫屏蔽罩或低溫?fù)醢迮c TSP 泵芯，提高活性氣體的抽速，更快達(dá)到超高真空/極高真空狀態(tài)。常溫屏蔽罩可以為活性氣體提供高抽速。在非常低的壓力下，最大的殘留氣體負(fù)荷為氫氣，當(dāng)升華鈦處于低溫罩提供的較低溫度時(shí)，氫氣的抽除效率較高。